현미경솔루션MX63

/, OLYMPUS현미경, 제품소개/현미경솔루션MX63

현미경솔루션MX63

STM7은 마이크로부터 밀리미터 단위까지의 정밀도로 고성능 3축(X,Y,Z) 측정을 지원하며, 샘플의 크기와 종류에 상관없이 초보자부터 전문가에 이르기까지 손쉽게 사용하실 수 있습니다. 올림푸스 STM7의 다양한 측정 기능은 사용자의 요구에 부합할 것입니다.

대규모 샘플 검사 워크 플로우 간소화

MX63 및 MX63L 현미경 시스템은 대형 300mm 평면 패널 디스플레이, 회로 보드 및 기타 대형 샘플의 고품질 검사에 최적화되어 있습니다. 모듈 식 설계로 시스템을 응용 프로그램에 맞게 구성하는 데 필요한 구성 요소를 선택할 수 있습니다.

인체 공학적이며 사용자 친화적 인 현미경은 작업자가 작업하는 동안 검사원을 편안하게 유지하면서 처리량을 높여줍니다. OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어와 결합하여 관측에서 보고서 작성까지의 전체 워크 플로우를 단순화 할 수 있습니다.

Streamline Your Large Sample Inspection Workflow

 

MX63/MX63L Specifications

MX63 MX63L
Optical system UIS2 optical system (infinity-corrected system)
Microscope frame Reflected light illumination(FN 26.5) White LED(with Light Intensity Manager)12 V 100 W halogen lamp, 100W mercury lamp
Brightfield/darkfield/mirror cube manual changeover. (Mirror cube is optional. )
3 position coded mirror units changed by manual operation
Built-in motorized aperture diaphragm (Pre-setting for each objective, automatically full open for darkfield)
Observation mode: brightfield, darkfield, differential interface contrast (DIC)*1, simple polarizing*1, fluorescence*1, infra-red*1 and MIX observation(4 directional darkfield)
*1 Optional mirror cube, *2 MIX observation configuration is required
Transmitted light illumination(FN 26.5) Transmitted light illumination unit MX-TILLA or MX-TILLB is required.
Transmitted light illumination unit with a condenser (NA 0.5) and an aperture stop: MX-TILLA
Transmitted light illumination unit with a condenser (NA 0.6), an aperture stop and a field stop: MX-TILLB
Light source: LG-PS2 (12 V,100 W halogen lamp) Light guide: LG-SF
Observation mode: brightfield, simple polarizing
Focus Stroke: 32 mm
Fine stroke per rotation: 100 μm
Minimum graduation: 1μm
Upper limit stopper and torque adjustment for coarse handle
Maximum load weight(including stage and holder) 8 kg 15 kg
Observation tube Wide-field (FN 22) Elect and trinocular: U-ETR4
Elect, tilting and trinocular: U-TTR-2
Inverted and trinocular: U-TR30-2, U-TR30IR (for IR observation)
Inverted and binocular: U-BI30-2
Inverted, tilting and binocular: U-TBI30
Super-wide-field (FN 26.5) Elect, tilting and trinocular: MX-SWETTR (optical path switchover 100% (eyepiece) : 0 (camera) or 0 : 100%)
Elect, tilting and trinocular: U-SWETTR (optical path switchover 100% (eyepiece) : 0 (camera) or 20% : 80%)
Inverted and trinocular: U-SWTR-3
Motorized nosepiece Brightfield
Motorized sextuple with a slider slot for DIC: U-D6REMC
Motorized centerable quintuple with a slider slot for DIC: U-P5REMCBrightfield and darkfield
Motorized sextuple with a slider slot for DIC: U-D6BDREMC
Motorized quintuple with a slider slot for DIC: U-D5BDREMC
Motorized centerable quintuple with a slider slot for DIC: U-P5BDREMC
Stage (X × Y) Coaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC8R
Stroke: 210 x 210 mm
Transmitted light illumination area: 189 x 189 mmCoaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC6R2
Stroke: 158 x 158 mm
(Reflected light use only)
Coaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC1412R2
Stroke: 356 x 305 mm
Transmitted light illumination area: 356 x 284 mm
Weight Approx. 50kg(Microscope frame 37.5kg) Approx. 64kg(Microscope frame 44.0kg)

  • 최첨단 분석 도구

  • 클린 룸 적합성을 지원하도록 고급 설계

관측 및 분석 도구

MX63 시리즈의 다용도 관찰 기능은 선명하고 선명한 이미지를 제공하므로 사용자가 샘플의 결함을 확실하게 감지 할 수 있습니다. OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어의 새로운 조명 기술 및 이미지 수집 옵션을 통해 사용자는 샘플을 평가하고 결과를 문서화 할 수 있습니다.

보이지 않는 것이 보이기 : MIX 관찰 및 획득

MIX 관측 기술은 암실을 형광등, 형광 또는 편광과 같은 다른 관찰 방법과 결합하여 독특한 관찰 이미지를 만듭니다. MIX 관찰은 사용자가 기존의 현미경으로는보기 힘든 결함을 볼 수있게합니다. 암시 야 관찰에 사용되는 원형 LED 조명 장치는 주어진 시간에 오직 하나의 사분면 만 조명되는 방향성 암 필드 기능을 가지고 있습니다. 이렇게하면 샘플의 헐 레이션이 줄어들고 샘플의 표면 텍스처를 시각화하는 데 유용합니다.

반도체 웨이퍼 구조

Structure on semiconductor wafer
왼쪽 : IC 패턴이 불분명합니다. / 중간 : 웨이퍼 색상이 보이지 않습니다. / 오른쪽 : 웨이퍼 색상과 IC 패턴 모두 명확하게 나타냅니다.

반도체 웨이퍼상의 포토 레지스트 잔류 물

Photoresist residue on a semiconductor wafer
왼쪽 : 샘플 자체가 보이지 않습니다. / 중간 : 잔류 물이 불분명합니다. / 오른쪽 : IC 패턴과 잔류 물이 모두 명확하게 표현됩니다.

2017-12-27T20:54:48+00:00