LEXT OLS4500은 광학 현미경, 레이저 현미경(LSM), 프로브 현미경(SPM)을 한 대에 결합한 복합 현미경입니다. 관찰 배율은 수십 배에서 수백만 배까지 광범위한 영역을 커버하고 관찰 포인트를 잃는 일 없이 원활하게 밀리미터부터 나노미터까지 관찰 및 측정이 가능합니다.

LEXT OLS4500은 광학 현미경, 레이저 현미경(LSM), 프로브 현미경(SPM)을 한 대에 결합한 복합 현미경입니다. 관찰 배율은 수십 배에서 수백만배까지 광범위한 영역을 커버하고 관찰 포인트를 잃는 일 없이 원활하게 밀리미터부터 나노미터까지 관찰 및 측정이 가능합니다.

  • OLS4500이 실현하는 새로운 솔루션
  • OLS4500에서 가능한 원할한 관찰과 측정
  • 가이드 화면으로 따라하기 쉬운 6개의 SPM 측정 모드
  • 레이저 현미경으로 다양한 샘플을 유연하게 대응
  • OLS4500의 현미경 기술
  • 마이크로 영역의 표면 거칠기를 비접촉으로 측정

한번 잡은 타겟은 절대 놓치지 않는다.

Never loses the target once it has been captured.
전동 리볼버로 배율, 관찰 방법 전환

저배율에서 고배율 관찰이 가능한 4 개의 대물 렌즈와 SPM 장치를 전동 리볼버에 장착하여 배율과 관찰 방법을 원활하게 전환 할 수 있어 관찰 대상을 잃을 일이 없이 바로 나노미터까지 검색 할 수 있는 현미경입니다.

광 범위의 배율과 다양한 관찰 방법으로 관찰 대상을 쉽게 발견 할 수 있습니다.

첨단 광학 기술이 뒷받침된 다양한 관찰 방법과 저배율부터 고배율까지 관찰 대상을 쉽게 찾을 수 있습니다. 또한 광학 현미경으로는 보이지 않는 관찰 대상을 레이저 현미경으로 찾을 수 있습니다. 레이저 미분 간섭 (DIC) 관찰에서는 나노 수준의 미세 요철의 라이브 관찰도 가능합니다.

샘플 세팅부터 이미지 획득까지, 작업시간을 획기적으로 단축

샘플 세팅 이후의 모든 작업을 1대의 장치로 수행 할 수 있습니다.
관찰대상을 신속, 정확하게 SPM 현미경 모드로 가져올 수 있기 때문에, 한 번의 스캐닝 영역 내에서 원하는 SPM 이미지를 얻을 수 있습니다.

일체형이기 때문에 샘플을 옮길 필요 없이 배율 및 관찰 방법을 교체하여 하나의 현미경으로 유연하게 대응 가능합니다.

Integrated design makes it possible to use a single microscope simply by switching the magnification and observation method, without having to remove and replace the sample on another microscope

OLS4500은 광학 현미경, 레이저 현미경, 프로브 현미경의 일체형이기 때문에 샘플을 옮길 필요 없이 세 가지의 현미경을 자유 자재로 전환하며 관찰 및 평가가 가능합니다. 각각이 가진 뛰어난 기능으로 효율적인 최적의 결과 값을 얻을 수 있습니다.

올림푸스가 개발 한 캔틸레버의 폭 넓은 라인

SPM의 XY 평면 해상도는 프로브 팁 직경에 의해 결정됩니다. 올림푸스에서 개발 및 제조 된 캔틸레버는 탐침의 끝 날을 안정된 품질로 유지하고 높은 신뢰성을 보장합니다. 또한 탐침 위치를 결정하는 것이 쉬운”TipView”구조나 핀셋으로 잡기 쉬운 “신 개념 팁”등 자신의 디자인에 따라 정확도 뿐만 아니라 유용성도 우수합니다.
*캔틸레버 제품 카탈로그를 별도로 준비하고 있습니다.

OMCL-AC160TS-C3 표준 실리콘 캔틸레버

고분해능 측정을위한 높은 Q 계수
가장 널리 사용되는 다이나믹 모드로서 표면 거칠기 측정에 적합 합니다.

Standard Silicon Cantilever1
Standard Silicon Cantilever2

OMCL-AC240TS-C3 미디엄 소프트 실리콘 캔틸레버

재현성이 좋은 점탄성 측정이 가능
다이나믹 모드 용 실리콘 캔틸레버로서는 가장 작은 용수철 상수 “2N / m (Nom.)”을 가지고 점탄성 측정 등에 적합합니다.

Medium-soft Silicon Cantilever1
Medium-soft Silicon Cantilever2

OMCL-TR800PSA-1 표준 실리콘 질화물 캔틸레버

낮은 마모, 우수한 내구성
접촉 모드 측정에 널리 사용되고 있으며, 캔틸레버의 부드러움과 탐침의 마모가 적은 것이 특징입니다. 1 칩에 100μm와 200μm 길이 2 종류의 캔틸레버가 있습니다.

Standard Silicon Nitride Cantilever1
Standard Silicon Nitride Cantilever2

다양한 캔틸레버에 대응 가능하며 정확하고 간단한 캔틸레버 교환

캔틸레버는 사용 빈도에 따라 교체해야 합니다. OLS4500에서는 전동 리볼버, SPM 헤드, 캔틸레버 홀더가 엄격하게 통제되고 있어 캔틸레버의 위치가 조정 된 홀더를 SPM 헤드에 삽입하는 것만으로 교체가 완료됩니다. 캔틸레버와 홀더의 위치 조정은 전용 도구를 사용하기 때문에 누구나 정확하고 간단하게 할 수 있습니다. 또한 다양한 종류의 캔틸레버도 같은 방법으로 교환이 가능하여 관찰, 측정의 효율성이 높습니다.

Cantilever positioning alignment tool
캔틸레버 위치 정렬 도구
Cantilever

STM7 Specifications

Small frame Middle frame Large frame
Optical System UIS2 Optical System (Infinity-corrected)
Microscope Frame Observation Method BF/DF/DIC/KPO*1
Reflected/Transmitted Reflected/Transmitted
Illumination System White: for Reflected Illumination, Green: for Transmitted Illumination with Max. Power Consumption: 10 W
Focus Motorized/Manual Manual  [Manual Type]
Motorized [Motorized Type]
Stroke 175 mm 145 mm*2
FOCUS button: Coarse movement speed 8 mm/sec [Motorized Type]
Fine Focasing Speed (Variable) 800 µm/400 µm/200 µm/50 µm (Full Rotation of Knob) 4 Steps [Motorized Type]
Maximum measurable height 175 mm*3, 120 mm*4 145 mm*3, 90 mm*4
Objectives Measuring Objectives/Metallurgical Objectives
Observation tube Erect image monocular tube, erect image trinocular tube (100:0/0:100)
Stage Stroke 50(X)x50(Y)mm 200(X)x200(Y)mm 300(X)x300(Y)mm
100(X)x100(Y)mm
Measuring Accuracy 50 mm Stroke:(3+L/50)µm (3+4L/200)µm (3+6L/300)µm
100 mm Stroke:(3+2L/100)µm
Counter Display Number of axes Three
Unit mm/μm/inch/mil
Minimum resolution 0.1μm
Dimensions [Manual Type] 466(W)x583(D)x651(H)mm 606(W)x762(D)x651(H)mm 804(W)x1024(D)x686(H)mm
[Motorized Type] 466(W)x583(D)x811(H)mm 606(W)x762(D)x811(H)mm 804(W)x1024(D)x844(H)mm
Weight [Manual Type] 84kg(Approx.) 152kg(Approx.) 277kg(Approx.)
[Motorized Type] 92kg(Approx.) 159kg(Approx.) 284kg(Approx.)
Remark *1: Simple Polarized Light Observation
*2: When using the large frame STM7-LF/STM7-LFA, a specimen whose height is 100 mm or less can be placed at the position backward from the light axis by 180 mm or more.
*3: With Objective Lenses for Metallurgical Microscope
*4: With Objective Lenses for Measuring Microscope