STM7은 마이크로부터 밀리미터 단위까지의 정밀도로 고성능 3축(X,Y,Z) 측정을 지원하며, 샘플의 크기와 종류에 상관없이 초보자부터 전문가에 이르기까지 손쉽게 사용하실 수 있습니다. 올림푸스 STM7의 다양한 측정 기능은 사용자의 요구에 부합할 것입니다.
대규모 샘플 검사 워크 플로우 간소화
MX63 및 MX63L 현미경 시스템은 대형 300mm 평면 패널 디스플레이, 회로 보드 및 기타 대형 샘플의 고품질 검사에 최적화되어 있습니다. 모듈 식 설계로 시스템을 응용 프로그램에 맞게 구성하는 데 필요한 구성 요소를 선택할 수 있습니다.
인체 공학적이며 사용자 친화적 인 현미경은 작업자가 작업하는 동안 검사원을 편안하게 유지하면서 처리량을 높여줍니다. OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어와 결합하여 관측에서 보고서 작성까지의 전체 워크 플로우를 단순화 할 수 있습니다.
MX63/MX63L Specifications
| MX63 | MX63L | ||
| Optical system | UIS2 optical system (infinity-corrected system) | ||
| Microscope frame | Reflected light illumination(FN 26.5) | White LED(with Light Intensity Manager)12 V 100 W halogen lamp, 100W mercury lamp Brightfield/darkfield/mirror cube manual changeover. (Mirror cube is optional. ) 3 position coded mirror units changed by manual operation Built-in motorized aperture diaphragm (Pre-setting for each objective, automatically full open for darkfield) Observation mode: brightfield, darkfield, differential interface contrast (DIC)*1, simple polarizing*1, fluorescence*1, infra-red*1 and MIX observation(4 directional darkfield) *1 Optional mirror cube, *2 MIX observation configuration is required |
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| Transmitted light illumination(FN 26.5) | Transmitted light illumination unit MX-TILLA or MX-TILLB is required. Transmitted light illumination unit with a condenser (NA 0.5) and an aperture stop: MX-TILLA Transmitted light illumination unit with a condenser (NA 0.6), an aperture stop and a field stop: MX-TILLB Light source: LG-PS2 (12 V,100 W halogen lamp) Light guide: LG-SF Observation mode: brightfield, simple polarizing |
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| Focus | Stroke: 32 mm Fine stroke per rotation: 100 μm Minimum graduation: 1μm Upper limit stopper and torque adjustment for coarse handle |
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| Maximum load weight(including stage and holder) | 8 kg | 15 kg | |
| Observation tube | Wide-field (FN 22) | Elect and trinocular: U-ETR4 Elect, tilting and trinocular: U-TTR-2 Inverted and trinocular: U-TR30-2, U-TR30IR (for IR observation) Inverted and binocular: U-BI30-2 Inverted, tilting and binocular: U-TBI30 |
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| Super-wide-field (FN 26.5) | Elect, tilting and trinocular: MX-SWETTR (optical path switchover 100% (eyepiece) : 0 (camera) or 0 : 100%) Elect, tilting and trinocular: U-SWETTR (optical path switchover 100% (eyepiece) : 0 (camera) or 20% : 80%) Inverted and trinocular: U-SWTR-3 |
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| Motorized nosepiece | Brightfield Motorized sextuple with a slider slot for DIC: U-D6REMC Motorized centerable quintuple with a slider slot for DIC: U-P5REMCBrightfield and darkfield Motorized sextuple with a slider slot for DIC: U-D6BDREMC Motorized quintuple with a slider slot for DIC: U-D5BDREMC Motorized centerable quintuple with a slider slot for DIC: U-P5BDREMC |
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| Stage (X × Y) | Coaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC8R Stroke: 210 x 210 mm Transmitted light illumination area: 189 x 189 mmCoaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC6R2 Stroke: 158 x 158 mm (Reflected light use only) |
Coaxial right handle with built-in clutch drive: MX-SIC1412R2 Stroke: 356 x 305 mm Transmitted light illumination area: 356 x 284 mm |
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| Weight | Approx. 50kg（Microscope frame 37.5kg） | Approx. 64kg（Microscope frame 44.0kg） | |
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최첨단 분석 도구
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클린 룸 적합성을 지원하도록 고급 설계
관측 및 분석 도구
MX63 시리즈의 다용도 관찰 기능은 선명하고 선명한 이미지를 제공하므로 사용자가 샘플의 결함을 확실하게 감지 할 수 있습니다. OLYMPUS Stream 이미지 분석 소프트웨어의 새로운 조명 기술 및 이미지 수집 옵션을 통해 사용자는 샘플을 평가하고 결과를 문서화 할 수 있습니다.
보이지 않는 것이 보이기 : MIX 관찰 및 획득
MIX 관측 기술은 암실을 형광등, 형광 또는 편광과 같은 다른 관찰 방법과 결합하여 독특한 관찰 이미지를 만듭니다. MIX 관찰은 사용자가 기존의 현미경으로는보기 힘든 결함을 볼 수있게합니다. 암시 야 관찰에 사용되는 원형 LED 조명 장치는 주어진 시간에 오직 하나의 사분면 만 조명되는 방향성 암 필드 기능을 가지고 있습니다. 이렇게하면 샘플의 헐 레이션이 줄어들고 샘플의 표면 텍스처를 시각화하는 데 유용합니다.
반도체 웨이퍼 구조
왼쪽 : IC 패턴이 불분명합니다. / 중간 : 웨이퍼 색상이 보이지 않습니다. / 오른쪽 : 웨이퍼 색상과 IC 패턴 모두 명확하게 나타냅니다.
반도체 웨이퍼상의 포토 레지스트 잔류 물
왼쪽 : 샘플 자체가 보이지 않습니다. / 중간 : 잔류 물이 불분명합니다. / 오른쪽 : IC 패턴과 잔류 물이 모두 명확하게 표현됩니다.